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微型机械加工技术发展趋势

时间:2016-01-14 07:28 来源:电工之家 作者:编辑部

微型机械加工技术发展趋势
  微型机械加工技术的发展刚刚经历了十几年,在加工技术不断发展的同时发展了一批微小器件和系统,显示了巨大生命力。作为大批量生产的微型机械产品,将以其价格低廉和优良性能赢得市场,在生物上程、化学、微分析、光学、国防、航天、工业控制、医疗、通信及信息处理、农业和家庭服务等领域有着巨大的应用前景。当前,作为大批量生产的微型机械产品,如微型压力传感器、微细加速度计和喷墨打印头已经占领了巨大市场。目前市场上以流体调节与控制的微机电系统为主,其次为压力传感器和惯性传感器。微型机械及其加工技术有着巨大的市场和经济效益。

    微型机械的研究属于多学科的交叉的领域,和它相关的每一技术的发展都会促使微型机械的发展。随着微电子学、材料学、信息学等的不断发展,微型机械具备了更好的发展基础。由于其巨大的应用前景和经济效益以及政府、企业的重视,微型机械发展必将有更大的飞跃。新原理、新功能、新结构体系的微传感器、微执行器和系统将不断出现,并可嵌入大的机械设备,提高自动化和智能水平。

    微型机械加工技术作为微型机械的最关键技术,也必将有一个大的发展。硅加工、LI-GA加工和准LIGA加工正向着更复杂、更高深度、适合各种要求的材料特性和表面特性的微结构,以及制作不同材料特别是功能材料微结构、更易于与电路集成的方向发展,多种加工技术结合也是其重要方向。微型机械在设计方面,正向着在结构和工艺设计的同时,实现器件和系统的特性分析与评价的设计系统的方向发展。

    我国在微型加工技术方向的优先发展领域是生物学、环境监控、航空航天、工业与国防等,建设好几个有世界先进水平的微型机械研究开发基地,同时亦重视微观尺度上的新物理现象和新效应的研究,加速我国微型机械的研究与开发,迎接21世纪技术与产业革命的挑战。